上海墨河电子科技有限公司

SFC5400 和 SFC5500 系列质量流量控制器使用 SFC5xxx 查看器。该软件需要Windows Vista或更高版本，Microsoft.NET Framework 4.5。SFC6000D 使用可在 Windows、Linux 和 Mac 上运行的控制中心。有关系统要求的信息，请阅读用户手册。


对于 SFC5400 和 5500， Sensirion 还 提供 Labview C# 和 C 示例 项目、SDHLC python 驱动 程序 和 软件 来 校准 其他 气体。此软件需要Windows XP或更高版本，Microsoft.Net Framework 3.5。所有软件都可以从Sensirion网站mian费xia载。


质量流量控制器适用于各种应用：
气体分析仪器：气相色谱、生物反应器
医疗设备：麻醉、通气、心肺搭桥机、N2O 治疗
气体混合设备
气体发生器（例如，对于 N2)
通过使用物理气相沉积（PVD）或化学气相沉积（CVD）在玻璃和太阳能电池板上应用薄层材料

Sensirion在其质量和液体流量计产品组合中还有三个系列的质量流量控制器。SFC5400 系列具有出色的参数和广泛的配置选项，多种标准预配置的 SFC5400 变体，例如具有zui佳性能/价格比的 SFC5500 系列和 SFC6000D 系列。让我们仔细看看它们zui重要的功能和比较。盛思锐质量流量控制器根据基于传热的量热原理测量气体质量流量。


“隔热膜上的加热体和两个热电偶集成在硅芯片上。气流冷却加热器前面的热电偶，并加热其后面的热电偶。然后测量这种不对称性，并从中计算质量流量，“SOS电子产品zhuan家Miroslav Piskor解释道。




盛思锐的SFC5400和SFC5500系列还在芯片上集成了放大器、模数转换器、数字线性化和温度补偿。

SFC6000 系列将所有电子设备集成到 ASIC 芯片中。质量流量使用由微控制器上运行的PID算法控制的阀门进行调节。


盛思锐质量流量控制器的优势
建立时间为100ms


膜的zui小热质量导致传感器响应时间超快，为3-4毫秒。结合先进的控制算法，SFC质量流量控制器提供100ms的建立时间，远小于传统的质量流量控制器。SFC5400 系列可根据要求调谐至 50ms。


无需重新校准


由于SFC质量流量控制器具有出色的长期稳定性，因此无需重新校准。


在大动态范围内具有出色的可重复性和准确性


两个温度传感器的特殊布置、片上温度补偿和噪声源zui小化可在 1000：1 的大动态范围内实现出色的可重复性和精度。


对颗粒、堵塞和加湿气体的鲁棒性


与传统质量流量控制器中的旁路毛细管直径相比，CMOSens? 技术可实现明显更大的流道横截面（约 1.5 x 1 mm）。这种通道设计使设备对颗粒、堵塞和加湿气体的抵抗力更强。


气体识别


SFC5400（OEM 版本）、SFC5500 和 SFC600D 允许与 SFC 通信的控制系统实现气体识别。控制系统向车间作业委员会发送命令“关闭阀的原始热导率（500 ms）”。SFC 关闭阀门 500 ms 以确保零流量并测量气体的热导率。然后，控制系统将测得的热导率与特定气体的参考值进行比较。如果测得的电导率%2B/-某个公差与参考值匹配，则结果正常。


“一般来说，此功能可以用作安全功能，以防止由于用户的错误等而导致的错误操作。 米罗斯拉夫?皮斯科尔继续说道。


多种气体的校准


盛思锐SFC5400针对以下气体之一进行了校准：空气/N 2*、H 2、O 2、氦气、氩气和二氧化碳。可根据要求提供多种气体校准作为 OEM 选项。
盛思锐SFC5500针对空气/氮气2*、氦气、二氧化碳进行了校准。O 2、H 2、CH2、N 4 O 和 Ar 的校准来自给定气体的物理模型。
盛思锐SFC6000D针对空气/N 2*和CO2进行了校准。O 2、N2 O 和Ar 的校准来自给定气体的物理模型。
* 空气和N2的校准是相同的。它可以与两种气体一起使用，结果相同。


与爆炸性气体的兼容性


SFC5400、5500 传感器的zui大加热能量限制为 12 mW。CMOSens?传感器元件根据EN 50020（第6.2.4 b章）进行测试。盛思锐保证安全使用T1级或T2级气体（点火温度<300?C）。这还包括空气或氧气与氢气或碳氢化合物的混合物。但是，SFC5400 / SFC5500不适用于设备外部可能发生爆炸性气体的危险区域（EN 60079-10）。


评估套件和盛思锐软件
盛思锐SFC5400、SFC5500和SFC6000D与EK-F5x检测试剂盒兼容。