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有两款ArF光刻胶进入批量验证阶段

发布时间： 2023/9/9 17:46:46 | 39 次阅读

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南大光电：有两款ArF光刻胶进入批量验证阶段
编辑: 胡玲的报道 ?
20 小时

每经AI快讯，9月8日，南大光电接受调研时表示，ArF光刻胶验证阶段主要分为PRS（光刻胶性能测试）、STR（小试）、MSTR（批量验证）及Release（通过验证）四个阶段。公司已有两款胶通过客户验证，多款胶正在验证过程中。验证中的ArF光刻胶因开始时间不一，验证进度也不同，其中有两款胶进入MSTR阶段。当前公司光刻胶事业部主要任务是尽快完成更多产品的验证，加强市场拓展，争取早日实现规模量产，形成业绩贡献。

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